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分類(lèi)
利用熱電偶的電勢與加熱元件的溫度有關(guān),元件的溫度又與氣體的熱傳導有關(guān)的原理來(lái)測量真空度的真空計。
作原理
熱電偶接在白金或鎢的細線(xiàn)上。這段細線(xiàn)通過(guò)電流后會(huì )發(fā)熱。發(fā)出的熱量通過(guò)周?chē)鷼怏w分子的熱傳導,或細線(xiàn)本身的固體熱傳導,或熱輻射放出。利用氣體分子承擔的熱傳導量與壓力成正比的特點(diǎn)是此真空計的原理。
如果保持細線(xiàn)的發(fā)熱量即保持定的電流,則周?chē)鷫毫Φ臅r(shí)候氣體奪走的熱量較多,致使細線(xiàn)的溫度較低。反過(guò)來(lái)周?chē)鷫毫Φ偷臅r(shí)候細線(xiàn)的溫度會(huì )升。這種溫度的變化通過(guò)熱電偶檢測出來(lái),將熱電偶的起電力換成壓力之后即可知真空腔內的壓力。
特征
利用氣體分子的熱傳導現象,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線(xiàn)溫度同時(shí),也受到細線(xiàn)本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此度不。但是電路簡(jiǎn)單,價(jià)格低廉。
另外此真空計在大氣壓狀態(tài)下也不會(huì )燒損。而且測得的壓力值通過(guò)電信號被取出,因此在自動(dòng)控制方面容易控制
熱偶真空計在也需要行校準,熱偶規管在未開(kāi)封前真空度已抽至為10^-2~10^-3Pa。將熱偶規管與儀器連接,使管座垂直向上,接通儀器電源開(kāi)關(guān),預熱10min,"熱偶轉換"開(kāi)關(guān)置"加熱電流"位置,調節"加熱電流"旋鈕,熱偶真空計針滿(mǎn)度,持續1min,再將"熱偶選擇"開(kāi)關(guān)放在"測量"位置上,這樣反復測定三次,成熱偶真空計的校準作。
在熱偶規管內
氣體導熱是氣體與熱絲碰撞的結果且與熱絲表面狀況有關(guān)。因此,應保持管內及熱絲表面狀清潔,般不要在大氣壓狀態(tài)下對熱絲加熱,盡量減少油蒸氣污染。
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