真空度測試儀的特點(diǎn)

真空度測試常見(jiàn)的有破壞性測試方法和無(wú)損檢測方法。

破壞性測試方法常見(jiàn)的是采用針頭刺入容器空，通過(guò)壓力（真空度）傳感器探測獲取真空度，該測試方法在定程度上會(huì )受到管路中空氣的影響，可以用于真空度的粗略抽查，在小空容器中表現尤為明顯。應用是用于粗略的行密閉容器整性測試（CCIT）評估，方法是將真空的西林瓶（抽真空到接近0.1mbar）留樣半年到1年，然后觀(guān)察瓶?jì)日婵斩?。如果里面還有定真空度，即里面的壓力是微負壓，說(shuō)明瓶子是不漏的；相反，如果里面的壓力是常壓，說(shuō)明瓶子是漏的。

如果是用于藝的優(yōu)化和標準的制定，通常會(huì )采用無(wú)損的真空度測試方法。無(wú)損的真空度測試方法常見(jiàn)的是激光法（即調頻光譜法（FMS）），它的基本原理是空氣中的O2、水汽、CO2會(huì )在定波段下有激光吸收，并且會(huì )得到吸收的圖譜,吸收的激光量(在圖中是峰或振幅)和物質(zhì)的含量成正比，其中水汽的激光吸收圖譜中的峰寬（波峰和波谷之間的橫向距離）和空總壓力成正比。采用激光法能夠對容器行無(wú)損真空度測試。激光法對真空度的小檢出限大約為7mbar。

測試原理

真空度測試儀采用磁控放電法行測量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的距離，施加電場(chǎng)脈沖壓，將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內或將新型電磁線(xiàn)圈置于滅弧室外側，向線(xiàn)圈通以大電流，從而在滅弧室內產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)。對于不同的真空管型號(管型)，由于其結構不同，在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗可以標定出各種管型的真空度與離子電流間的對應關(guān)系曲線(xiàn)。當測知離子電流后，就可以通過(guò)查詢(xún)該管型的離子電流真空度曲線(xiàn)獲得該管型的真空度。

在常規磁控放電測試滅弧室的真空度時(shí)，為了提其測試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線(xiàn)管線(xiàn)管內。而使用磁控線(xiàn)圈可以從側面包圍滅弧室，這樣就不拆卸滅弧室。而采用單片微機行同步控制與數據采集處理，提了滅弧室真空度的現場(chǎng)測試靈敏度。

真空度測試儀將滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的開(kāi)距，施加脈沖壓，將電磁線(xiàn)圈環(huán)繞于滅弧室的外側，向線(xiàn)圈通以大電流，從而在滅弧室內產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)，這樣在脈沖磁場(chǎng)的作用下，滅弧室中的電子做螺旋運動(dòng)。對于不同的真空管，在同等真空度條件下，離子電流的大小也不相同，當測知離子電流后，通過(guò)離子電流真空度曲線(xiàn)，由計算機自動(dòng)成真空度的計算，并顯示真空度值。

采用磁控放電法行測量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)定的距離，施加電場(chǎng)脈沖壓，將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內或將新型電磁線(xiàn)圈置于滅弧室外側，向線(xiàn)圈通以大電流，從而在滅弧室內產(chǎn)生與壓同步的脈沖磁場(chǎng)，離子電流的大小也不相同。