恒奧德文解析勻膠機材質(zhì)的選擇構

恒奧德文解析勻膠機材質(zhì)的選擇構

從其原理來(lái)說(shuō)，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個(gè)細節

旋轉速度

轉速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大，對于要求密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能確標定實(shí)時(shí)的轉速?？诘膭蚰z機雖然大分能標定轉速，但是大分轉速度沒(méi)有標準認定。建議購買(mǎi)轉速控制方面有認定標準的，比如：美NIST標準等。

真空吸附系統的構

真空泵定要無(wú)油的，壓力標定準確，內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生“飛片"的情況，還會(huì )讓滴膠液不慎入真空管道系統成堵塞。用過(guò)產(chǎn)勻膠機的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這點(diǎn)許多外的勻膠機做得不錯，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì )開(kāi)始旋轉。

材質(zhì)的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類(lèi)化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì )導致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯（NPP）或者聚四氟乙烯（特氟隆，PTFE）材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。