廠(chǎng)家勻膠機選購巧概述

廠(chǎng)家勻膠機選購巧概述

選購巧

從其原理來(lái)說(shuō)，可以看出選購勻膠機需要注意的幾個(gè)細節

旋轉速度

轉速的快慢和控制度直接關(guān)系到旋涂層的厚度控制和膜層均勻性。如果標示的轉速和電機的實(shí)際轉速誤差很大，對于要求密涂覆的科研人員來(lái)說(shuō)是無(wú)法獲得準確的實(shí)驗數據的。產(chǎn)的某些勻膠機只能提供轉速范圍，并不能確標定實(shí)時(shí)的轉速?？诘膭蚰z機雖然大分能標定轉速，但是大分轉速度沒(méi)有標準認定。建議購買(mǎi)轉速控制方面有認定標準的，比如:美NIST標準等。

真空吸附系統的構

真空泵定要無(wú)油的，壓力標定準確，內生產(chǎn)的無(wú)油真空泵實(shí)在不敢恭維。因為何的油污都可能堵塞真空管道，如果真空吸附力降低，會(huì )導致基片吸附不住而產(chǎn)生"飛片"的情況，還會(huì )讓滴膠液不慎入真空管道系統成*堵塞。用過(guò)產(chǎn)勻膠機的客戶(hù)常常會(huì )關(guān)心怎么清洗的問(wèn)題，這點(diǎn)許多外的勻膠機做得不錯，他們有通過(guò)聯(lián)動(dòng)機制，如果真空吸附力不夠的時(shí)候，不會(huì )開(kāi)始旋轉。

材質(zhì)的選擇

對于半導體化行業(yè)的應用來(lái)說(shuō)，材質(zhì)的選擇尤為關(guān)鍵，大分勻膠機采用的是不銹鋼或者普通塑料材質(zhì)，因為這種材質(zhì)的成本很低，不銹鋼的對于各類(lèi)化膠液的抗腐蝕性不太好，塑料對于較溫度和壓力下易產(chǎn)生變形。如果這種變形引起托盤(pán)的位置失去水平的話(huà)，將會(huì )導致旋涂時(shí)，時(shí)時(shí)低的顛簸狀態(tài)。自然無(wú)法得到好的旋涂效果。例如美等型號都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆，PTFE)材質(zhì)。這兩種材質(zhì)具備綠色環(huán)保、節約資源、重量輕、強度大、抗沖擊性能好、堅固耐用、花紋自然、光澤度好等優(yōu)點(diǎn)。

概述

該設備主要用于晶片涂光刻膠，有自動(dòng)、手動(dòng)和半自動(dòng)三種作方式。

送片盒中的晶片，自動(dòng)送到承片臺上，用真空吸附，在主軸電機的帶動(dòng)下旋轉，轉速100-9900轉/分(±10轉/分)，起動(dòng)加速度可調。每道程序的持續時(shí)間，轉速、加速度、烘烤溫度、烘烤時(shí)間、預烘時(shí)間等藝參數均可通過(guò)編程控制。

勻膠機有個(gè)或多個(gè)滴膠系統，可涂不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨著(zhù)晶片尺寸的增大，出現了多點(diǎn)滴膠或膠口移動(dòng)式滴膠。膠膜厚度般在500-1000nm，同晶片和片與片間的誤差小于±5nm。滴膠泵有波紋管式和薄膜式兩種，并有流量計行恒量控制。對涂過(guò)膠的晶片有上下刮邊能，去掉晶片正反面多余的光刻膠。

烘烤位，有隧道式遠紅外加熱，微波快速加熱以及電阻加熱的熱板爐等。涂膠后的晶片要按定的升溫速率行烘干。烘烤過(guò)程在密封的爐子中行，通過(guò)抽真空排除揮發(fā)出來(lái)的有害物質(zhì)。前烘結束后，將晶片送入收片盒內。