本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況

本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況，以便硅材料的切割和。

    為適應大規模集成電路的迅猛發(fā)展，別是計算機芯片、內存的發(fā)展，越來(lái)越多的使用到了大直徑、純度、均勻度更的單晶硅材料。目前，在美、德等的業(yè)家，均采用了二探針?lè )?，使用二探針檢測儀來(lái)測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。

儀器符合美ASTM 《“F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗方法》的標準，是種新型的半導體電阻率測試儀，適合半導體材料廠(chǎng)和器件廠(chǎng)用于二探針?lè )y量單晶硅和多晶硅半導體棒狀材料的體電阻率，從而步判斷半導體材料的性能，導和監視操作，也可以用來(lái)測量金屬材料的電阻，儀器具有測量度、穩定性好、結構緊湊、使用方便、型美觀(guān)等點(diǎn)。也可以配四探針測試頭作常規的四探針?lè )y量硅晶體材料。

    儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三分，儀表電氣控制箱由靈敏度直數字電壓表、抗干擾隔離性能的電源變換裝置、穩定度恒源和電氣控制分組成。測量結果由大型LED數字顯示，零位穩定、輸入阻抗，并設有自校能。在棒狀材料使用二探針?lè )y試時(shí)，具有系數修正能，從面板輸入相應的修正系數，可以直接讀出電阻率，使用方便。測試臺結構新穎，型美觀(guān)，可以方便地固定好大小意尺寸的樣品，并可以作逐點(diǎn)選擇步測量，也可以自由選擇固定位置測量，電活動(dòng)自如，具備鎖定裝置，方便重復測量。另外還配置了二處記錄板和轉椅，測試探頭能自動(dòng)升降，探針為碳化鎢材料，配置寶石軸承，具有測量度、游移率小、耐磨、使用壽命長(cháng)點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調整，以適合不同的材料。