用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器

數字式四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備。該儀器按照單晶硅物理測試方法家標準并參考美 A.S.T.M 標準而的，用于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的用儀器。
    儀器由主機、測試臺、四探針探頭、計算機等分組成，測量數據既可由主機直接顯示，亦可由計算機控制測試采集測試數據到計算機中加以分析，然后以表格，圖形方式統計分析顯示測試結果。
    儀器采用了電子行、裝配。具有能選擇直觀(guān)、測量取數快、度、測量范圍寬、穩定性好、結構緊湊、易操作等點(diǎn)。
    本儀器適用于半導體材料廠(chǎng)、半導體器件廠(chǎng)、科研單位、等院校對半導體材料的電阻性能測試。
 四探針軟件測試系統是個(gè)運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶(hù)程序，通過(guò)此測試程序輔助使用戶(hù)簡(jiǎn)便地行各項測試及獲得測試數據并對測試數據行統計分析。
    測試程序控制四探針測試儀行測量并采集測試數據，把采集到的數據在計算機中加以分析，然后把測試數據以表格，圖形直觀(guān)地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對采集到的數據在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數據輸出到Excel中，讓用戶(hù)對數據行各種數據分析